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提出了用ＦＩＡ－ＩＣＰ－ＡＥＳ测定高纯试剂中痕量杂质的方法。研究了传输管长度、进样体积、曝光时间、基体和酸度等因素对灵敏度的影响；对ＦＩＡ－ＩＣＰ－ＡＥＳ与ＣＰＮ－ＩＣＰ－ＡＥＳ的分析结果进行了比较。该技术已较成功地用于高纯Ｙ２Ｏ３中１４种稀土杂质和高纯ＮａＣｌ的Ｆｅ、Ｃｒ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｃａ、Ｃｕ、Ｚｎ的测定。