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介绍了旋转载体用硅微机械陀螺的敏感原理，计算了硅振动单元振动摆角和敏感电容的关系。介绍了旋转载体用硅微机械陀螺敏感元件的结构和利用双面多次光刻、腐蚀等微机械工艺加工得到硅振动单元的工艺过程。对制作的4个敏感元件的电容进行静态测试，得到4个敏感元件各自电容的静态值，它们之间有所偏差。
旋转载体用硅微机械陀螺的敏感元件
【摘 要】
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介绍了旋转载体用硅微机械陀螺的敏感原理，计算了硅振动单元振动摆角和敏感电容的关系。介绍了旋转载体用硅微机械陀螺敏感元件的结构和利用双面多次光刻、腐蚀等微机械工艺加
【机 构】
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北京信息工程学院传感技术研究中心
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2006年2期
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