【摘 要】
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本文针对衬底弯曲对柔性RF MEMS开关相位特性的影响,提出了一种基于LCP柔性衬底的双端固支梁RF MEMS开关相位特性模型,并从软件仿真和实验验证方面对不同曲率条件下开关的相位偏移进行了深入研究,揭示了柔性衬底弯曲对相位偏移量的影响规律。实验结果表明,当柔性衬底弯曲曲率从0增大到28.6 m-1时,RF MEMS开关的相位偏移量绝对值不断增大,中心频率10 GHz处相位偏移由0°变化到-2.72°,8 GHz~12 GHz频率范围内实测值和仿真值误差小于9.5%,实测值和模型计算
【机 构】
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东南大学电子科学与工程学院,东南大学MEMS教育部重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61774032),省级大学生创新创业训练计划项目(202010286051Y)。
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本文针对衬底弯曲对柔性RF MEMS开关相位特性的影响,提出了一种基于LCP柔性衬底的双端固支梁RF MEMS开关相位特性模型,并从软件仿真和实验验证方面对不同曲率条件下开关的相位偏移进行了深入研究,揭示了柔性衬底弯曲对相位偏移量的影响规律。实验结果表明,当柔性衬底弯曲曲率从0增大到28.6 m-1时,RF MEMS开关的相位偏移量绝对值不断增大,中心频率10 GHz处相位偏移由0°变化到-2.72°,8 GHz~12 GHz频率范围内实测值和仿真值误差小于9.5%,实测值和模型计算
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