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阐述了XPS谱线退卷积的必要性,传统傅里叶变换退卷积的弊病,MEM最大退卷积的原理、方法和优越性;重点说明了MEM退卷积中如何选择最佳抽样点数的原理和方法,介绍了所研制的MEM最大熵退卷积计算机软件系统在 XPS谱线退卷积中的应用情况,显示了这一方法在XPS谱退卷积中所带来的突破性进展。