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为获得先进陶瓷材料的高效、高精度加工,通过采用新研制的半固着磨具来实现一种半固着磨粒加工技术.制作了以SiC为磨料的不同粒度和磨料浓度的半固着磨具(SFAT),讨论分析了磨料粒度和磨料浓度对半固着磨具特性(剪切强度和表面硬度等)的影响.采用所制作的半固着磨具加工单晶硅片,研究半固着磨具的磨耗率和工件材料去除率.初步实验结果表明,磨料粒度#1000和磨料质量分数为65%的半固着磨具的磨具磨耗率最小且工件材料去除率最大.实验结果有助于指导半固着磨具制作.