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为获得先进陶瓷材料的高效、高精度加工，通过采用新研制的半固着磨具来实现一种半固着磨粒加工技术．制作了以SiC为磨料的不同粒度和磨料浓度的半固着磨具（SFAT），讨论分析了磨料粒度和磨料浓度对半固着磨具特性（剪切强度和表面硬度等）的影响．采用所制作的半固着磨具加工单晶硅片，研究半固着磨具的磨耗率和工件材料去除率．初步实验结果表明，磨料粒度#1000和磨料质量分数为65％的半固着磨具的磨具磨耗率最小且工件材料去除率最大．实验结果有助于指导半固着磨具制作．