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本文介绍了CM509AP-2双四选一模拟开关电路的工艺设计及电路性能。电路采用外延衬底材料,两次注入源/漏区,以提高击穿电压。制作出的电路在±15V下工作,±22V下无闭锁效应。
CM509AP—2双四选一模拟开关的工艺设计
【摘 要】
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本文介绍了CM509AP-2双四选一模拟开关电路的工艺设计及电路性能。电路采用外延衬底材料,两次注入源/漏区,以提高击穿电压。制作出的电路在±15V下工作,±22V下无闭
【机 构】
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机电部第24研究所重庆永川632167
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1992年3期
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