【摘 要】
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建立了玻璃光波导气敏元件检测氯苯气体的方法。采用浸渍-提拉法将ZnO敏感膜固定在锡掺杂玻璃光波导表面,研制出了检测氯苯气体的ZnO薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件,并用该玻
【基金项目】
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国家自然科学基金（No.209650008）资助项目
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建立了玻璃光波导气敏元件检测氯苯气体的方法。采用浸渍-提拉法将ZnO敏感膜固定在锡掺杂玻璃光波导表面,研制出了检测氯苯气体的ZnO薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件,并用该玻璃光波导气敏元件对挥发性有机气体进行了检测。实验结果表明,在室温下,气敏元件对氯苯气体有明显的响应,而对相同浓度的其它挥发性有机气体的响应相对较小,对氯苯气体的线性响应范围为5×10^-4～1.2×10^-5（V/V）。所研制的ZnO薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件具有灵敏度高、响应速度快（响应时间8s）、制作工艺简单和
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