射频/微波MEMS Shunt开关的开启时间研究

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【摘要】

：

本文描述了射频/微波MEMS shunt开关的理论模型和数值结论.把可动薄膜的运动近似地模拟为作用在可动薄膜上的变静电力、弹力及空气阻力的单自由度阻尼振动.给出了典型MEMS sh

【作者】

：

龙永福朱自强赖宗声郭方敏石艳玲

【机构】

：

华东师范大学电子系,上海,200062常德师范学院物理系,湖南常德,415000;华东师范大学电子系,上海,200062;

【出处】

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电子学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

MEMS开关开启时间理论模型数值计算

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本文描述了射频/微波MEMS shunt开关的理论模型和数值结论.把可动薄膜的运动近似地模拟为作用在可动薄膜上的变静电力、弹力及空气阻力的单自由度阻尼振动.给出了典型MEMS shunt开关开启时间的数学表达式及数值计算值.根据可动膜厚、材料和几何结构参数不同, 得到了典型的MEMS shunt开关的开启时间大约为1～40 μs.其计算值同文献[4]的值相符得很好.本文还讨论了该理论模型和数值计算的局限性.

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