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建立了利用电感耦合等离子体发射光谱法测定金砷靶材中砷含量的方法。样品用王水溶解，蒸至近干，加盐酸驱赶硝酸，在砷确定的分析线处进行测定。测定中基体金元素不影响测定，不需要基体匹配，共存物质没有干扰。对于较难的激发元素砷，在光源上进行了三方面的优化：（1）功率；（2）载气流量；（3）曝光高度。分析线的选择以灵敏度高，干扰少为原则，在样品、标液中对砷的全波段进行扫描，最后确定最佳分析线。工作曲线的确定不但要覆盖所测试元素的含量，而且还要考虑到样品偏析造成的砷元素偏高或偏低为出发点，在仪器参数优化好的情况下，作出