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从电离气体等离子体的基本性质入手,分析了处于等离子体中的基片表面鞘层及基片悬浮电位的形成,计算了正离子进入势垒到达基片的条件、基片的悬浮电位、到达基片的正离子流的密度,以及入射基片的正离子的能量,从而建立起等离子体镀光学膜的数学模型。
等离子体镀光学薄膜的数学模型
【摘 要】
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从电离气体等离子体的基本性质入手,分析了处于等离子体中的基片表面鞘层及基片悬浮电位的形成,计算了正离子进入势垒到达基片的条件、基片的悬浮电位、到达基片的正离子流的
【机 构】
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北京理工大学工程光学系,北京理工大学工程光学系北京100081,北京100081
【出 处】
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北京理工大学学报
【发表日期】
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1993年1期
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