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采用磁控溅射方法在ＺｒＯ２（００１），Ｓｉ（００１）和玻璃衬底上成功地制备了Ｌａ－Ｃａ－Ｍｎ－Ｏ巨磁电阻薄膜。Ｘ－射线分析表明，ＺｒＯ２的晶格常数与ＬＣＭＯ的晶格常数失配虽然较大，仍可得到较好的ＬＣＭＯ薄。膜。在Ｓｉ片上难以制备出致密完整的ＬＣＭＯ薄膜，其原因有待查明。
氧化物La-Ca-Mn-O巨磁电阻薄膜的制备及其结构特性的研究
【摘 要】
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采用磁控溅射方法在ＺｒＯ２（００１），Ｓｉ（００１）和玻璃衬底上成功地制备了Ｌａ－Ｃａ－Ｍｎ－Ｏ巨磁电阻薄膜。Ｘ－射线分析表明，ＺｒＯ２的晶格常数与ＬＣＭＯ的晶格常数失配虽然较大，仍可得到较好的ＬＣＭＯ薄。膜。在Ｓｉ片上难以制备出致密完整的ＬＣＭＯ薄膜，其原因
【机 构】
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上海交通大学信息存储研究中心
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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1997年1期
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