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本文叙述了当前世界上亚微米、深亚微米技术的发展趋势,分析了我国亚微米技术的现状,最后介绍了机械电子工业部第十三研究所在亚微米技术方面的进展及其在半导体器件与集成电路制造中的成功应用。
半导体器件与集成电路制造中的亚微米技术
【摘 要】
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本文叙述了当前世界上亚微米、深亚微米技术的发展趋势,分析了我国亚微米技术的现状,最后介绍了机械电子工业部第十三研究所在亚微米技术方面的进展及其在半导体器件与集成电
【机 构】
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机械电子工业部第十三研究所,机械电子工业部第十三研究所石家庄050051,石家庄050051
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1991年2期
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