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本文介绍了一种先进的新型背散射电子探测器。随着电子束曝光机的发展,特别是加速电压高的时候,对背散射电子探测器的性能要求就愈来愈高,例如,信噪比、响应时间等。在与各种探测器比较的基础上,我们设计了微通道板探测器,它是目前用于电子束曝光机的最先进的探测器。
微通道板背散射电子探测器的设计
【摘 要】
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本文介绍了一种先进的新型背散射电子探测器。随着电子束曝光机的发展,特别是加速电压高的时候,对背散射电子探测器的性能要求就愈来愈高,例如,信噪比、响应时间等。在与各种
【机 构】
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中国科学院微电子中心北京100010
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1991年02期
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