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报道了利用固体源化学气相沉积（SS-CVD）技术制备出c轴平行于衬底的ZnO薄膜，固体Zn(CH3COO)2·2H2O为前驱体，在不同的生长条件沉积ZnO薄膜，并利用X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）、光学透射谱对其性能进行研究，结果表明，在玻璃衬底上，当衬底温度较低（200℃）、源温较高（280℃）时，ZnO薄膜呈（100）与（110）的混合取向，即C轴平行于衬底，对此，文中给出了一个可能的定性解释，AFM测试表明薄膜表面平整度不够理想，该薄膜在可见光区域透射率为85%，光学带宽约3