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为了降低激光位移传感器试制成本,并且更加方便地进行线性度测试,研发了一种激光位移传感器。使用ZEMAX软件对光学系统进行优化设计,得到合适的收光镜头,再选取光电元件,成功研制了一种工作距离为100 mm,量程为±25 mm,线性度为±0. 28%,分辨率为20μm的激光位移传感器。该传感器具有测量范围宽,线性度好,分辨率高的特点,满足了在工业场景中对精密测量的使用要求。