斐索型球面干涉仪移相误差的探讨

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本文对斐索型球面干涉仪的移相原理误差进行了推导和计算。应用移相干涉术的三步法和五步法,分析和比较了球面移相误差对波面复原精度的影响,并给出了有关数据和曲线。最后,提出了几种减小球面测量误差的措施。
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