【摘 要】
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微机电系统(MEMS)是把微小的机械和电子功能集成在单一芯片上，虽然很难确切地讲何种功能可以通过MEM5实现，但这种技术已经在过去20年来得到广泛关注和应用。从汽车、计算机、消费类电子产品，到工业控制、军事、医学应用，几乎所有应用领域都可见到MEM5技术的踪影。
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微机电系统(MEMS)是把微小的机械和电子功能集成在单一芯片上，虽然很难确切地讲何种功能可以通过MEM5实现，但这种技术已经在过去20年来得到广泛关注和应用。从汽车、计算机、消费类电子产品，到工业控制、军事、医学应用，几乎所有应用领域都可见到MEM5技术的踪影。
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