【摘 要】
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电子工业的迅速发展对微缩镜头的设计和制造起了推动作用,尤其七十年代后期开始的超大规模集成电路,对精缩镜头的视场、分辨率和畸变等则提出了更高的要求。本文就精缩镜头的
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电子工业的迅速发展对微缩镜头的设计和制造起了推动作用,尤其七十年代后期开始的超大规模集成电路,对精缩镜头的视场、分辨率和畸变等则提出了更高的要求。本文就精缩镜头的发展趋势、光学设计结果应该满足的各种要求、评价精缩镜头光学设计结果和镜头质量优劣的依据、设计选型时的指导思想进行了论述;还介绍了一种新的估计精缩镜头焦深的方法;并结合一个具体结构型式阐述了采用不同基准光(e线和g线)的两种适用于超大规模集成电路(线视场为φ14.5mm)的高分辩率-1/10X精缩镜头的设计思想、设计过程和结果;并利用OTF的计算去估计将一个已知的某种谱线(如e线)镜头结构型式改做成另一种谱线(如g线)镜头时所能达到的分辨率等指标。
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