论文部分内容阅读
随着科学技术的不断发展,当前微电子事业正在不断进步,尤其是近年微电子科学在集成电路上的应用,使得传统的集成电路正在不断的进行革新,但是依靠着科学技术的发展逐渐构建起新的集成电路技艺,但是微电子事业的整体发展步伐却逐渐趋于缓慢。伴随着高分子材料的不断发展,各种新器件在集成电路中逐渐推出和应用,所以本文主要从纳米技术在集成电路大生产中的使用进行研究,结合当前的技术发展趋势探讨纳米技术的主要发展趋势和发展现状。