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研究了如何利用溶胶凝胶法制备锆钛酸铅（Pb（Zrr,Ti1-x）O3,PZT）薄膜,并对该薄膜的进行了表征测试.根据分子式设计了溶液的成分及配比,配制溶液后旋涂于钛（Ti）及铂/钛（Pt/Ti）基底上.利用X射线衍射仪（XRD）和原子力显微镜（AFM）对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的形貌、成分进行了表征测试.在此基础上,采用微机电系统（MEMS）工艺,开发了可用于测试PZT薄膜材料特性的工艺流程与测试样品.然后,利用标准铁电测试仪对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的极化强度进行了铁电特