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功能陶瓷薄膜化技术的飞速发展给新颖功能器件的研究和开展带来了巨大活力。本文回顾了复杂金属氧化物薄膜的制备技术，着重介绍了最新发展起来的低温氧化物薄膜工艺：水热法和电化学－水热法，并对水热反应沉膜机理作了分析。
多功能ABO3型金属氧化物薄膜及其水热法和电化学—水热法合成
【摘 要】
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功能陶瓷薄膜化技术的飞速发展给新颖功能器件的研究和开展带来了巨大活力。本文回顾了复杂金属氧化物薄膜的制备技术，着重介绍了最新发展起来的低温氧化物薄膜工艺：水热法和电
【出 处】
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上海微电子技术和应用
【发表日期】
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1995年2期
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