TiAlSiN多元PVD涂层的研究

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采用PVD方法在硬质合金基体上制备了不同成分与结构的TiAlN涂层和TiAlSiN涂层。研究了涂层的组织结构和物理性能,分析了Si元素掺杂在TiAlN基涂层中的作用机理及其对涂层性能的影响,并通过切削实验对涂层刀具的使用性能进行了验证。结果表明:在TiAlN基涂层中添加了Si元素获得了明显区别于TiAlN涂层的组织结构,Si元素以Si3N4非晶相形式包覆在TiAlN晶界,一方面起到了细化涂层晶粒尺寸提高涂层硬度的效果,另一方面还可以提高涂层的热稳定性能。切削实验表明,含Si元素的TiAlSiN涂层在许多应用条件下也表现出较TiAlN涂层更优异的使用性能。 The TiAlN coatings and TiAlSiN coatings with different composition and structure were prepared on the cemented carbide substrate by PVD method. The microstructure and physical properties of the coating were studied. The mechanism of Si doping in TiAlN-based coating and its influence on the coating performance were analyzed. The cutting performance of the coating was verified by cutting experiments. The results show that the structure of TiAlN-based coating is obviously different from that of TiAlN coating, and the Si element is coated on the TiAlN grain boundary in the form of Si3N4 amorphous phase. On the one hand, Size increases the effect of coating hardness, on the other hand can also improve the thermal stability of the coating. Cutting experiments show that Si-containing TiAlSiN coatings also exhibit superior performance over TiAlN coatings in many applications.
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