【摘 要】
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本文叙进紊屯硅中Fe、Al、Ca、Mg、Cu、Ti、Mo、B等杂质的测定方法制做过程及操作工艺,分析采用在直流电弧阳极直接激发试样的三标准试样法。对其中几个关键问题进行了讨论,
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本文叙进紊屯硅中Fe、Al、Ca、Mg、Cu、Ti、Mo、B等杂质的测定方法制做过程及操作工艺,分析采用在直流电弧阳极直接激发试样的三标准试样法。对其中几个关键问题进行了讨论,方法用于硅原料检验和制造过程的监督,经过扩充后可分析不同纯度的硅样品,并推广应用于纯锗的分析。
In this paper, the preparation process and operation process of the determination of impurities such as Fe, Al, Ca, Mg, Cu, Ti, Mo, B and so on in the turbulent silicon are introduced. The three standard sample method . Several key issues are discussed. The method is used to monitor the silicon raw material inspection and manufacturing process. After being expanded, silicon samples with different purity can be analyzed and applied to the analysis of pure germanium.
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