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综述了磁控溅射，脉冲激光沉积、sol-gel法制备锆钛酸钡（简称BZT）薄膜的研究现状，及其制备工艺参数与显微结构、介电性能的关系，提出了制备BZT薄膜材料需要解决的工艺和理论问题。
锆钛酸钡薄膜材料制备研究进展
【摘 要】
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综述了磁控溅射，脉冲激光沉积、sol-gel法制备锆钛酸钡（简称BZT）薄膜的研究现状，及其制备工艺参数与显微结构、介电性能的关系，提出了制备BZT薄膜材料需要解决的工艺和理论问题。
【机 构】
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重庆科技学院冶金与材料工程学院
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2009年10期
【基金项目】
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教育部“春晖”计划资助项目(No.Z2007-1-63013);重庆市教委科学技术研究资助项目(No.KJ091416);重庆科技学院大学生科技创新训练计划资助项目
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