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利用磁控溅射方法，通过改变氮气流量制备出ZrN纳米涂层，研究了氮气流量对ZrN纳米涂层结构及硬度的影响，并采用表面轮廓仪、X射线衍射仪、扫描电镜及纳米压痕表征了ZrN纳米涂层的厚度、相结构、形貌及硬度．实验结果表明，随着氮气流量增加，涂层厚度减小，涂层择优取向由（111）变为（200），对应的截面形貌由柱状结构变为非柱状结构；传统的位错滑移机制不适用于ZrN纳米涂层的塑性变形，其硬度随择优取向和晶粒尺寸的增大而增加．