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建立了＾２５２Ｃｆ裂片源模拟空间重离子的单粒子烧毁和单粒子栅穿效应的实验方法和测试装置，并利用该装置进行了功率ＭＯＳ场效应晶体管的ＳＥＢ、ＳＥＧＲ效应研究，给出了被测试器件ＳＥＢ、ＳＥＧＲ效应的损伤阈值。结果表明，该测试系统和实验方法是可行、可靠的。
用^252Cf裂片源研究单粒子烧毁和栅穿效应的方法
【摘 要】
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建立了＾２５２Ｃｆ裂片源模拟空间重离子的单粒子烧毁和单粒子栅穿效应的实验方法和测试装置，并利用该装置进行了功率ＭＯＳ场效应晶体管的ＳＥＢ、ＳＥＧＲ效应研究，给出了被测试器件ＳＥＢ、ＳＥＧＲ效应的损伤阈值。结果表
【机 构】
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西北核技术研究所
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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2000年4期
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