【摘 要】
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<正> 一、概述 钠广泛存在于自然界,不论在空气中、水中、人体汗液中都有较高的含量。由于钠的存在,给半导体器件的生产带来很大的危害。器件表面因受钠沾污而影响器件的稳定
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<正> 一、概述 钠广泛存在于自然界,不论在空气中、水中、人体汗液中都有较高的含量。由于钠的存在,给半导体器件的生产带来很大的危害。器件表面因受钠沾污而影响器件的稳定性,以致造成器件失效。因此,在器件生产的工艺流程中,严格控制钠的沾污已得到了普遍的重视,分析钠的沾污状态也被认为是一个重要的课题了。 目前钠沾污分析方法,从一些兄弟单位及有关资料介绍,大致分中子活化分析,非火焰原子吸收分光光度法,火焰分光光度法。由于受仪器的局限,这些方法虽然灵敏度较高,能满足对器件分析的要求。但并不普遍使用,更不可能放置在工序流程中进行分析使用。本试验是采用国产钠离子浓度计,在分析半导体用高纯度水的钠离子浓度基础上,分析半导体生产中一些工序上钠离子沾污情况和沾污的某些来源。 二、实验方法 1.方法原理 PNa电极与PH玻璃电极原理一样,同是一种离子选择电极,当与参比电极(甘汞
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