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PECVD制备新型介质薄膜碳氮化硅工艺性能研究
PECVD制备新型介质薄膜碳氮化硅工艺性能研究
来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zzhzzgxl
【摘 要】
:
研究了PECVD法制备新型介质膜碳氮化硅(SiCxNy:H)的工艺参数对淀积过程的影响。讨论了退火对该薄膜的影响,发现经退火后,其电阻率有明显的下降,氢含量也大大减少,但是膜的结构仍然是非晶态的。最
【作 者】
:
王柏青
张克云
【机 构】
:
复旦大学电子工程系
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
1994年5期
【关键词】
:
碳氮化硅薄膜
淀积工艺
钝化模
集成电路
PECVD
new passivation film
SiCxNy:Hfilm
parameters of the p
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研究了PECVD法制备新型介质膜碳氮化硅(SiCxNy:H)的工艺参数对淀积过程的影响。讨论了退火对该薄膜的影响,发现经退火后,其电阻率有明显的下降,氢含量也大大减少,但是膜的结构仍然是非晶态的。最后对该薄膜的特性进行测试,表明碳氮化硅薄膜具有较好的绝缘性能。
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