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期刊论文
叔丁酚酚醛树脂化学增幅抗蚀剂
叔丁酚酚醛树脂化学增幅抗蚀剂
来源 :北京师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:emslwh
【摘 要】
:
以叔丁酚改性酚醛树脂与双叔丁氧碳酸酐为原料,合成了一种化学增幅感光性高分子,摸索出这类合成反应的最佳条件,进而配制出一系列化学增幅抗蚀剂组成物,并对其感光性能及光解
【作 者】
:
刘劲松
顾江楠
余尚先
【机 构】
:
北京师范大学化学系,北京师范大学化学系100875北京新外大街,100875北京新外大街
【出 处】
:
北京师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1993年1期
【关键词】
:
叔丁酚
酚醛树脂
化学增幅
抗蚀剂
chemical amplification resist
tert-butyl phenol novolac resin
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以叔丁酚改性酚醛树脂与双叔丁氧碳酸酐为原料,合成了一种化学增幅感光性高分子,摸索出这类合成反应的最佳条件,进而配制出一系列化学增幅抗蚀剂组成物,并对其感光性能及光解动力学进行了研究。
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