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以叔丁酚改性酚醛树脂与双叔丁氧碳酸酐为原料,合成了一种化学增幅感光性高分子,摸索出这类合成反应的最佳条件,进而配制出一系列化学增幅抗蚀剂组成物,并对其感光性能及光解动力学进行了研究。
叔丁酚酚醛树脂化学增幅抗蚀剂
【摘 要】
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以叔丁酚改性酚醛树脂与双叔丁氧碳酸酐为原料,合成了一种化学增幅感光性高分子,摸索出这类合成反应的最佳条件,进而配制出一系列化学增幅抗蚀剂组成物,并对其感光性能及光解
【机 构】
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北京师范大学化学系,北京师范大学化学系100875北京新外大街,100875北京新外大街
【出 处】
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北京师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1993年1期
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