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好的集成电路厂洁净车间结构设计不仅可以有效节约能源,还能降低企业运行管理成本和降低企业人力成本投入.本文通过厂房内部气流模型分析,来探究集成电路厂的施工、集成电路厂洁净度的检测以及室内环境维护.
集成电路厂洁净度的实现与优化
【摘 要】
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好的集成电路厂洁净车间结构设计不仅可以有效节约能源,还能降低企业运行管理成本和降低企业人力成本投入.本文通过厂房内部气流模型分析,来探究集成电路厂的施工、集成电路厂洁净度的检测以及室内环境维护.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南长沙 410000
【出 处】
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建筑·建材·装饰
【发表日期】
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2022年2期
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