扫描电子显微镜测长标准物质:线宽标物与粒度标物

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扫描电子显微镜(以下简称“扫描电镜”)是一种被广泛应用于材料微区形貌分析和微小尺寸测量的仪器设备。我国早在1988年就发布了JJG550—1988((扫描电子显微镜(试行)》检定规程,1996年教委又专门发布了JJG(教委)010—1996((分析型扫描电子显微镜》检定规程。开展扫描电镜的检定或校准工作,需要借助标准物质,其中包括分辨力标准物质、测长标准物质和化学成分标准物质。特别是测长标准物质,
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