【摘 要】
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N型太阳能电池由于其高效率和低光致衰减效应(LID)受到了人们的广泛关注。本文介绍了基于P型常规单晶铝背场(Al-BSF)太阳电池产线通过增加极少的工艺步骤升级为N-PERT太阳电
【机 构】
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国家电投集团西安太阳能电力有限公司
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N型太阳能电池由于其高效率和低光致衰减效应(LID)受到了人们的广泛关注。本文介绍了基于P型常规单晶铝背场(Al-BSF)太阳电池产线通过增加极少的工艺步骤升级为N-PERT太阳电池产线的结果。开发了一种工业化N-PERT电池的制造工艺,采用磷注入制作N+背表面场(BSF),用硼扩散法制作前表面发射极。通过优化电池结构设计,包括背场掺杂曲线和发射极掺杂曲线,在大批量生产中N-PERT电池平均效率达到22.2%,优异电性能表明基于P型常规铝背场电池产线升级N-PERT电池生产线是可行的。
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