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本文用纵向塞曼双频稳频He-Ne激光器作光源,采用光学超外差技术与相位高精度测量相结合,测量光学膜膜厚.测量灵敏度为0.1nm量级.实验结果与理论分析相符合,并与其它测量方法的测量结果进行了比较.
超外差光学膜厚的精密测量
【摘 要】
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本文用纵向塞曼双频稳频He-Ne激光器作光源,采用光学超外差技术与相位高精度测量相结合,测量光学膜膜厚.测量灵敏度为0.1nm量级.实验结果与理论分析相符合,并与其它测量方法的测量结果进行了比较.
【机 构】
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中国科学院上海光机所
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1988年15期
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