【摘 要】
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为克服传统投料策略的缺点,满足晶圆厂追求多个生产指标的需求,提出基于生产线平衡的动态投料策略思想,并从追求负荷平稳的角度,给出了多重入晶圆生产线平衡的新定义。在全局
【机 构】
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郑州航空工业管理学院工业工程系,同济大学经济管理学院,上海理工大学微电子发展研究中心
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为克服传统投料策略的缺点,满足晶圆厂追求多个生产指标的需求,提出基于生产线平衡的动态投料策略思想,并从追求负荷平稳的角度,给出了多重入晶圆生产线平衡的新定义。在全局性信息确定方面,将黄光区作为瓶颈区域,炉管区与离子注入区作为次瓶颈区域分别加以控制。从稳定系统负荷和保证系统产出两个目的着手,提出了负荷平衡投料策略(RRLB),给出了相应地公式与算法。进一步的仿真实验验证了该策略的有效性。
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