【摘 要】
：
在CH4,H2,SiH4混合气体中用热丝化学气相沉积(HFCVD)法生长SiC薄膜。利用XRD、原子力显微镜(AFM)对SiC薄膜的表面形貌和晶体结构进行测试分析,结果表明,薄膜的确是SiC,其厚度
【机 构】
：
西北大学电子科学系,西安卫星测控中心,西北大学电子科学系
论文部分内容阅读
在CH4,H2,SiH4混合气体中用热丝化学气相沉积(HFCVD)法生长SiC薄膜。利用XRD、原子力显微镜(AFM)对SiC薄膜的表面形貌和晶体结构进行测试分析,结果表明,薄膜的确是SiC,其厚度为310nm。对该薄膜在较高温度(250℃)下进行气敏特性测试,发现其对乙醇、乙醚有较好的敏感特性。进一步研究表明,不同的薄膜制备工艺条件对薄膜的气敏特性有一定的影响,其中H2流量,掺杂(N2)浓度对薄膜气敏特性影响较大。
其他文献
本文认为 ,人文学科 ,就其在西方及中国古典时期的状况而言 ,基本上均表现为一种旨在造就“有学养的人”(韦伯语 )或即中国古典文化传统中的“君子”的学术性活动 ,因此 ,从
辨析都市圈及其相关概念是设立模型划分都市圈的基础。本文进一步明确了首都圈的内涵、特性及影响因素 ,论述可达性和辐射、接受能力对首都圈划分的决定作用。基于重力模型和
进入本世纪以来,动脉粥样硬化(AS)性心血管疾病已成为严重危害人类健康的第一位杀手.AS是以进行性脂质沉积、纤维组织增生和炎性细胞浸润为特征的累及全身大、中型弹性和肌性
介绍了大容量、低阻抗、耐高纹波电流的片式固体钽电解电容器的突出特点， 列举在便携式移动电话、笔记本电脑， 开关电源的ＤＣ／ＤＣ变换器的部分应用实例。这类电容器的应用十分引人关注
加快推进农村城市化是我国全面建设小康社会的必然要求。然而,在我国城市化全面加速的今天却出现了一个困扰众多城市政府的难题。许多原来的农村,在外生型的城市化进程中迅速
采用 sol-gel 方法制备 SrTiO3陶瓷粉体,利用 TG-DTA 分析 SrTiO3干凝胶粉的分解、化合反应,初步确定了SrTiO3陶瓷预烧和烧结温度,采用 SEM 研究了 SrTiO3陶瓷的内部结构,重
丹麦是世界风电行业的领跑者。介绍了丹麦大力发展风电的驱动力,描述了风电发展给电力行业以及人民生活带来的影响,阐述了风电的社会经济效益。详细论述了丹麦通过负荷经济调
目的:探讨军事择业大学生与非军事择业大学生人格异同.方法:中文版15FQ+人格测量问卷与自编的《军事择业心理问卷》,对西安4所高校的1000例地方大学毕业班学生进行集体问卷测
当前,随着油田企业现代化建设的不断推进,基层党建不断被赋予新的使命。新的历史时期,基层党建必须与单位生产经营工作并轨同行、有机结合,才能实现基层党建工作的与时俱进、