【摘 要】
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金刚石的许多性质(例如,高硬度、高弹性模量、高屈服强度、化学惰性、低摩擦系数和高热传导)使它成为微结构器件的优异材料。现已证明金刚石薄膜有压阻效应,这个性能打开了金
【机 构】
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天津理工学院光电系,天津理工学院光电系,天津理工学院光电系,天津理工学院光电系 天津 300191,天津 300191,天津 300191,天津 300191
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金刚石的许多性质(例如,高硬度、高弹性模量、高屈服强度、化学惰性、低摩擦系数和高热传导)使它成为微结构器件的优异材料。现已证明金刚石薄膜有压阻效应,这个性能打开了金刚石薄膜在压力传感器领域的应用。研究了金刚石薄膜的欧姆接触、热敏特性和压阻特性。研究表明金刚石薄膜可制成适于高温工作的传感器。
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