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利用SiCMOSFET能简化电路拓扑、提高电源的功率密度和效率.为推动大功率等离子体电源的升级换代,提出了一种采用新型SiC功率器件的全桥谐振变换器.该谐振变换器的主电路采用LLC Zero Voltage Switching(ZVS)拓扑结构,可将谐振换流频率范围增大至260~310kHz.设计的高频高压全桥LLCZVS谐振变换器样机的额定输出功率为8kW,输出电压为270V.对所研制的8kW级SiCMOSFET全桥LLCZVS谐振变换器样机的驱动性能、换流过程、温升以及效率进行了测试,结果表明,研制的