Bi2Se3纳米片生长及晶体管制备

来源 :福州大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：omine001

【摘要】

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通过化学气相沉积方法,在云母衬底上制备高质量的Bi2Se3纳米片.采用湿法转移技术,将纳米片转移到SiO2衬底上.用光刻技术制备基于单个Bi2Se3纳米片的晶体管,并施加底栅电压,对

【作者】

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陈磊王雨濛俞金玲

【机构】

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福州大学物理与信息工程学院

【出处】

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福州大学学报:自然科学版

【发表日期】

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2020年5期

【关键词】

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Bi2Se3纳米片拓扑绝缘体晶体管化学气相沉积法 Bi2Se3 nanoplatetopological insulatortransistorchemi

【基金项目】

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国家自然科学基金资助项目(61674038),福建省对外合作资助项目(2019I0005),福建省高校杰出青年科研计划资助项目

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通过化学气相沉积方法,在云母衬底上制备高质量的Bi2Se3纳米片.采用湿法转移技术,将纳米片转移到SiO2衬底上.用光刻技术制备基于单个Bi2Se3纳米片的晶体管,并施加底栅电压,对Bi2Se3纳米片晶体管进行有效调控.研究表明:当Bi2Se3纳米片与电极之间形成欧姆接触时,底栅的调控效果较好;而当Bi2Se3纳米片与电极之间形成肖特基接触时,底栅的调控效果较差.

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