用氟化钠脱除失效磷酸基抛光液中铝的研究

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研究利用氟化钠与失效磷酸基抛光液中的铝形成难溶的氟化物,从而脱除抛光液中的铝使其再生。在反应温度为60℃、反应时间为40 min、氟化钠用量为化学计量的1.3倍、静置时间为1.5 d条件下,失效磷酸基抛光液中铝的脱除率可达98%以上。该脱铝工艺操作简便,铝脱除率高,还可副产工业级冰晶石,具有良好的应用前景。
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