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由于激光具有高能量密度、高单色性以及良好的相干性，在表面处理技术中的应用越来越广泛．在金属、半导体和高聚物基体上，从水溶液进行激光诱导的化学沉积引起了人们的极大注意，这种工艺在微电子电路及器件上有广泛的应用前景．与传统的化学镀相比，它具有明显的优越性...
半导体硅上激光诱导化学沉积镍薄膜
【摘 要】
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由于激光具有高能量密度、高单色性以及良好的相干性，在表面处理技术中的应用越来越广泛．在金属、半导体和高聚物基体上，从水溶液进行激光诱导的化学沉积引起了人们的极大注意，这
【机 构】
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南开大学新能源材料化学研究所,郑州煤炭管理干部学院
【出 处】
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应用化学
【发表日期】
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1999年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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