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用量子化学密度泛函理论（DFT）方法计算了氢硅氯反应体系中多种物质的热力学参数，并将计算结果与尽可能查得的手册数据进行比对，以此验证计算数据的可适用性。对比表明，计算结果与手册数据十分吻合。以计算结果为基础数据，应用于西门子多晶硅生产条件下的合成和还原过程热力学平衡计算，得到了与实际生产十分接近的结果。在此基础上，讨论了多晶硅沉积过程的反应机理。本文工作对改良西门子工艺基础研究中，通过实验手段难以获得的热力学数据是一个补充。