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介绍了微机械电子系统（MEMS）质量流量计的构造、工作原理、技术特性，探讨了MEMS质量流量计的校准、对前直管段的要求、可靠性和温度性能，实流检测及实际应用。膜式表和MEMS质量流量计的实际应用效果对比显示，MEMS质量流量计比膜式表测量相对误差小，始动流量小。
MEMS质量流量计在城市天然气计量的应用
【摘 要】
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介绍了微机械电子系统（MEMS）质量流量计的构造、工作原理、技术特性，探讨了MEMS质量流量计的校准、对前直管段的要求、可靠性和温度性能，实流检测及实际应用。膜式表和MEMS质量流
【机 构】
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重庆凯源石油天然气有限责任公司,矽翔微机电系统（上海）有限公司
【出 处】
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煤气与热力
【发表日期】
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2011年11期
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