【摘 要】
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文中比较详细地研究了采用金属有机化合物热分解 (MOD)法制备锆钛酸铅Pb(Zr0 52Ti0 4 8)O3铁电薄膜的工艺及PZT薄膜的介电性能。利用XRD分析了薄膜的结晶过程 ,制得具有
【机 构】
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文中比较详细地研究了采用金属有机化合物热分解 (MOD)法制备锆钛酸铅Pb(Zr0 52Ti0 4 8)O3铁电薄膜的工艺及PZT薄膜的介电性能。利用XRD分析了薄膜的结晶过程 ,制得具有钙钛矿结构的PZT薄膜 ,铂电极有利于钙钛矿相形成。薄膜的介电温谱研究结果表明 :薄膜的居里温度约为 43 0℃ (1kHz)。
In this paper, the process of preparing lead zirconate titanate Pb (Zr0 52 Ti0 4 8) O3 ferroelectric thin films by thermal decomposition of metal organic compounds (MOD) and the dielectric properties of PZT thin films are studied in detail. The crystallization process of the films was analyzed by XRD to obtain a PZT thin film with a perovskite structure. The platinum electrode was favorable for the formation of perovskite phase. The results of dielectric temperature spectrum of the film show that the Curie temperature of the film is about 430 ℃ (1kHz).
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