【摘 要】
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最典型的产品是美国Tencor仪器公司的a(alpha)-台阶薄膜厚度、表面轮廓分布测试仪,Sigmascan薄膜厚度、表面轮廓分布测试仪(它是a-台阶表面轮廓分布仪的改进型)和美国Stoan技
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最典型的产品是美国Tencor仪器公司的a(alpha)-台阶薄膜厚度、表面轮廓分布测试仪,Sigmascan薄膜厚度、表面轮廓分布测试仪(它是a-台阶表面轮廓分布仪的改进型)和美国Stoan技术公司的Dektak表面轮廓分布仪.该两类产品都有若干型号.
The most typical products are alpha (alpha) - step film thickness, surface profile distribution tester, Sigmascan film thickness, surface profile distribution tester (which is an improved version of a-step surface profile distributor) from Tencor Instrument Company, USA, Dektak Surface Profiler from Stoan Technologies Inc. Both types of products have several models.
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