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目前,国内紧凑型荧光灯生产厂家的排气工序一般采用一人一机的操作方式,其排气系统结构如图1所示,该排气系统的操作程序为:(1)粗抽,旋转三通阀门,被抽气体经过三通阀门,由真空泵排出系统;(2)精抽.粗抽结束后,旋转三通阀门,被抽气体经过三通阀门和玻璃油扩散泵(下文简称扩散泵),由真空泵排出系统.