【摘 要】
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摘要：设计了基于陶瓷基底的悬桥式微热板结构以解决硅微热板高温稳定性差的问题。分析了微热板的传热过程，并通过有限元工具对其稳态热响应特性及微加热器电极结构进行了模拟。
【机 构】
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大连交通大学电气信息学院,大连理工大学电子科学与技术学院
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摘要：设计了基于陶瓷基底的悬桥式微热板结构以解决硅微热板高温稳定性差的问题。分析了微热板的传热过程，并通过有限元工具对其稳态热响应特性及微加热器电极结构进行了模拟。采用常规微电子技术结合激光微加工技术，实际制作了基底厚度为100um，桥宽度为2mm的微结构，并对结构的加热功率-温度关系进行了测试。结果表明：热板具有较好的高温稳定性，1．5W加热功率可使板上平均温度达到630℃。将桥式微热板作为阵列传感器的加热平台，Pd掺杂原子数百分比为0．2％和10％的SnO2纳米材料分别作为阵列中两只传感器的敏感膜材料
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