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报导了半导体薄膜CO2气体敏感膜的制备，敏感膜的结构特性、温度特性、灵敏度及响应特性和稳定度。
半导体薄膜CO<sub>2</sub>气体敏感膜的实验研究
【摘 要】
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报导了半导体薄膜CO2气体敏感膜的制备，敏感膜的结构特性、温度特性、灵敏度及响应特性和稳定度。
【出 处】
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杭州电子科技大学学报
【发表日期】
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1997年2期
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