Remote Plasma Maintenance in Low-Pressure Discharges with an External Magnetic Field

来源 :现代物理(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：fist001

【摘要】

：

The spatial structure of remote plasma regions in rf discharges is analyzed based on a 2D model of free-fall regime discharge maintenance. Since the study is di

【作者】

：

Stiliyan Lishev Antonia Shivar

【机构】

：

DepartmentofAppliedPhysics,FacultyofPhysics

【出处】

：

现代物理(英文)

【发表日期】

：

2012年10期

【关键词】

：

REMOTE PLASMA Maintenance TANDEM PLASMA SOURCES Magnetic Filter Hydrogen Dischar

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The spatial structure of remote plasma regions in rf discharges is analyzed based on a 2D model of free-fall regime discharge maintenance. Since the study is directed towards description of the magnetic filter region in the tandem plasma sources of negati

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