【摘 要】
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为了更好的了解ITO靶材的毒化机理，分别介绍了磁控溅射技术制备薄膜的基本原理，综述了ITO靶材在溅射过程中的毒化机理研究的现状，分析了影响ITO靶材毒化现象可能的原因，详细介绍
【机 构】
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宁夏大学物理电气信息学院,西北稀有金属材料研究院
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为了更好的了解ITO靶材的毒化机理，分别介绍了磁控溅射技术制备薄膜的基本原理，综述了ITO靶材在溅射过程中的毒化机理研究的现状，分析了影响ITO靶材毒化现象可能的原因，详细介绍了现阶段3种解决ITO靶材毒化现象的方法：不同工艺制备ITO靶材的影响、最佳Sn掺杂量和其他元素的掺杂等的影响以及溅射工艺的影响，指出了他们各自缓解ITO靶材毒化现象的原理。并且展望了未来解决我国ITO靶材毒化问题的发展方向。为我国ITO靶材的发展提供一定的参考。
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