新型辊涂设备——用于新一代液态光致抗蚀剂粉墨登场

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【摘要】

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超过5年以上应用的液态光致抗蚀剂表明,以液态光致抗蚀剂取代干膜抗蚀剂所取得成本效益而得到了接受.在1999年用于内层制造的光致抗蚀剂估计约在220百万平方米,而液态光致抗

【作者】

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Klaus Maurischat 丁志廉

【出处】

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印制电路信息

【发表日期】

：

2001年2期

【关键词】

：

涂料辊涂设备液态光致抗蚀剂

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超过5年以上应用的液态光致抗蚀剂表明,以液态光致抗蚀剂取代干膜抗蚀剂所取得成本效益而得到了接受.在1999年用于内层制造的光致抗蚀剂估计约在220百万平方米,而液态光致抗蚀剂所占份额超过25百万平方米.在今后几年内这种发展趋势还会继续下去.根据这个实际预测,到2001年,液态光致抗蚀剂将达到20%(参见表1)

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